Réalisation, par spray en mode discontinu, et caractérisation de couches minces Ca12Al14O33 :X (X = Na, Zn)
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Date
2019-02-14
Authors
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Publisher
Université 20Aout 1955-Skikda
Abstract
Dans le cadre de ce travail, des couches minces de Ca12Al14O33 (ou C12A7) non
dopées et dopées Na et Zn ont été déposées par la méthode spray-CVD en mode discontinu.
Leurs propriétés optiques et électriques ont été étudiées, pour une éventuelle application
comme oxyde transparent et conducteur, par diffraction des rayons X (DRX), spectroscopie
Raman, spectroscopie UV-visible, spectroscopie de photoluminescence et par des mesures de
la résistivité électrique et de l’épaisseur. D’après la DRX, les couches déposées par spray
conventionnel sont du C12A7 polycristallin avec une orientation préférentielle le long des
plans (310) tandis que celles dopées et déposées par spray-CVD, elles sont orientées suivant
les plans (420). Ces couches ont été déposées avec un taux de croissance de 5.3 nm/spray en
bon accord avec les mesures d’épaisseur. La transmission moyenne, déterminée à partir des
spectres UV-visible varie entre 57 et 75% en fonction du nombre de sprays. L’énergie des
transitions électroniques de la bande de conduction vers le niveau des cages occupées a été
déterminée à la place de l’énergie de la bande interdite (ou gap optique). La résistivité
électrique varie non seulement, en fonction du nombre de spray, mais aussi selon la méthode
spray utilisée. Le dopage par Na améliore les propriétés physiques du C12A7 contrairement
au dopage par Zn qui n’améliore que l’émission dans le bleu.