Effet de charge sur l’évolution des vitesses de propagations des ondes acoustiques
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Date
2022
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Publisher
Faculté des Sciences
Abstract
Les technologies basées sur l'exploitation des propriétés spécifiques des couches dites
minces se sont fortement développées à la fin du 20ème siècle, et sont devenues l'une des
voies les plus importantes de progrès tant en ce qui concerne la miniaturisation que le
développement de nouveaux capteurs ; dont la réalisation ne pourrait se faire sans cette
technologie. Les mécanismes microscopiques, à la base de la relation structure-propriétés
physiques des films minces, connues par ses faibles épaisseurs, sont encore très mal identifiées
pour un grand nombre de systèmes métal/métal, métal/céramique, métal/semiconducteurs,
oxide/semiconducteur ou oxyde/métal. L’approche de ce délicat problème commence par le
contrôle de la croissance des films minces, qui nécessite une optimisation de la technique de
dépôt et donc une très bonne connaissance de l’influence des paramètres expérimentaux qui
sont souvent nombreux et interdépendants. Les nano couches peuvent avoir des propriétés très
différentes de celles des matériaux massifs, la compréhension des propriétés de ces systèmes
nécessite une caractérisation précise de leur structure et de leur morphologie ainsi que
d'étudier les effets dus aux contraintes mécaniques et aux dimensions réduites des épaisseurs.
Dans ce contexte et à la différence des travaux déjà consacrés à l’étude de la dispersion des
vitesses de propagation des ondes acoustiques (de volumes ou de surface), nous exposons les
effets des épaisseurs de couche (d) sur la vitesse de Rayleigh (VR). Plusieurs structures couches
minces (Al, AlN, Cr, Cu, SiC, SiO2, Si3N4 and ZnO) déposées sur différents substrats Al2O3
ont été considérées. L'analyse des résultats ont mené à évoluer le comportement dispersif
(positive ou négative) de la vitesse de Rayleigh. Ainsi, elles seraient de grande importance
dans la prévision et la détermination des paramètres élastiques de plusieurs couches
appartenant à divers types de matériaux.