Caractérisation des films SnO₂ dopées aluminium obtenus par spray pyrolyse
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Date
2022
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Faculté des Sciences
Abstract
Des films minces d’oxyde d’étain dopé à l’aluminium (SnO₂ : Al ) avec une teneur en Al de 0,2 ; 0,4 ; 0,6 et 0,8 % ont été déposés sur des substrats de verre en utilisant la méthode de dépôt spray pyrolyse. Les films déposés ont été caractérisés par la diffraction des rayons X, spectrophotomètre UV-visible et la technique des quatre pointes pour l’étude des propriétés structurales, optiques et électriques. Les spectres XRD ont montré que les films déposés sont polycristallins avec une structure rutile tétragonale. L'absence du pic d’Al reflète la substitution des atomes Sn par des atomes Al dans le réseau SnO₂. La variation des paramètres de réseau a et c diminue en fonction de la concentration en Al en raison du rayon ionique de ( Sn = 0,71Å) et ( Al =0,51Å).cristallites tailles de SnO₂ :Al films minces en fonction de la teneur en aluminium varie entre 29,25 et 32,80 nm. Indique que le dopage Al ne modifie pas les propriétés structurales des films déposées.Tous les échantillons ont une transmission élevée entre 92 et 95% dans le visible. L'énergie optique de la bande interdite des films déposés varient dans la plage de 3,68 à 3,95 eV avec l'augmentation de la concentration en Al. Les mesures électriques ont révélé l'augmentation de la conductivité électrique avec la teneur en Al et montrent un maximum à 2% du dopage, puis diminue en raison de la diminution de la taille des grains. Suite à cette étude, nous pouvons conclure que les couches minces d'oxyde d'étain dopé à l'aluminium SnO2 :Al développées par cette technique peuvent être utilisées dans les capteurs de gaz et les cellules photovoltaïques