Browsing by Author "Bouzettouta , Amira"

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    Étude de l’effet de la température de dépôt sur les propriétés structurales, électriques et optiques du ZnO déposé sur le verre
    (faculté des sciences , 2023) Bouzettouta , Amira; Gacem , A
    Les propriétés structurels et électriques des couches minces de ZnO déposées par la méthode de revêtement par pulvérisation magnétron RF ont été étudiées, telles que : la position du pic (002), paramètre de maille (c), taille des grains (D), contrainte (s) et la résistivité électrique (r) . Les films minces de ZnO ont été déposés sur un substrat de verre avec différentes épaisseurs 55, 100, 150, 200, 300, 450 et 600 nm à différentes températures de dépôt allant de RT à 600 °C. afin d'identifier à quelles températures de dépôt les films de ZnO passent d'un film dense et compact à un réseau de colonnes. Les résultats ont montré que les caractéristiques des couches minces de ZnO dépendent fortement de la température de dépôt et des épaisseurs des couches minces. Cependant, les images AFM ont montré que la température de dépôt affecte la morphologie de surface des films. Alors que les propriétés structurales déterminées par mesure XRD montrent qu'à basse température (< 400 °C), la taille des grains augmente et les surfaces des films de ZnO ont un aspect rugueux. De plus, pour des températures croissantes (> 400 °C), la taille des grains des cristallites diminue et la formation d'une surface homogène, moins rugueuse et dense. Ce travail a conduit à des relations semi-empiriques traduisant quantitativement la variation de taille des grains cristallins ainsi que la nature des contraintes appliquées (compression ou traction) en fonction des épaisseurs de film et des températures de dépôt. Ces résultats sont en bon accord avec Modèle expérimental de Thornton. Étant donné que ce modèle est très souvent appliqué pour décrire la croissance de films pulvérisés de différents matériaux. D'autre part, nous avons observé que la résistivité électrique du film de ZnO de 300 nm d'épaisseur diminuait avec l'augmentation de la température de dépôt. Par conséquent, une relation exponentielle entre la résistivité électrique et la température de dépôt a été déduite.